MEMS微振鏡
C1100/C1130/C2110/C2120

MEMS微振鏡是一款將可動(dòng)結(jié)構(gòu)芯片化的光學(xué)器件，可取代傳統(tǒng)電機(jī)，實(shí)現(xiàn)激光光束的高速、動(dòng)態(tài)掃描。MEMS微振鏡由單晶硅加工制成，具有可靠性高、體積小、重量輕、易批量化等特點(diǎn)。知微傳感提供的MEMS微振鏡鏡面尺寸為1mm-3mm，鏡面鍍金，對(duì)紅外光有較好的反射率，目前已廣泛應(yīng)用于激光雷達(dá)、機(jī)器視覺(jué)、激光打印等應(yīng)用場(chǎng)景。
振鏡
芯片

基本特征

知微傳感研制的MEMS微振鏡為靜電驅(qū)動(dòng)諧振式微振鏡，具有體積小、重量輕，功耗低，壽命長(zhǎng)，成本低等特點(diǎn)。
2_22_6

體積小，重量輕

藍(lán)_9_9藍(lán)_9

功耗低

2_32_7

壽命長(zhǎng)，可靠性高

2_42_8

易批量化，成本低

應(yīng)用領(lǐng)域
振鏡-02
機(jī)器視覺(jué)
振鏡-03
激光雷達(dá)
振鏡-04
激光投影
振鏡-05-05
影像醫(yī)療

產(chǎn)品參數(shù)

微振鏡




型號(hào)
C1100
C1130
C2110
C2120
軸數(shù)
單軸
單軸
雙軸
雙軸
鏡面直徑
1.3mm
3mm
1mm
1mm
頻率
5.8kHz±10%
1.15kHz±10%
快軸：13kHz±10%
 慢軸：1.2kHz±10%
 快軸：25kHz±10%
  慢軸：2.3kHz±10%
光學(xué)掃描角
±30°
±30°
±30°
±30°
鏡面鍍膜
金
金
金
金