MEMS微振鏡/掃描模組
知微傳感提供MEMS微振鏡及集成閉環(huán)控制的MEMS單軸掃描模組產(chǎn)品

MEMS微振鏡
C1100/C1130/C2110/C2120

MEMS微振鏡是一款將可動(dòng)結(jié)構(gòu)芯片化的光學(xué)器件，可取代傳統(tǒng)電機(jī)，實(shí)現(xiàn)激光光束的高速、動(dòng)態(tài)掃描。MEMS微振鏡由單晶硅加工制成，具有可靠性高、體積小、重量輕、易批量化等特點(diǎn)。
振鏡
模組

MEMS單軸掃描模組
P1100/P1130/P1150/P1220

基于MEMS微振鏡的單軸掃描模組，內(nèi)部集成了微振鏡驅(qū)動(dòng)、控制及位置檢測(cè)功能。提供多款鏡面尺寸（1.3mm、3mm、5mm等）掃描模組供客戶選擇，應(yīng)用于激光雷達(dá)等領(lǐng)域。