MEMS微振鏡C1100/C1130/C2110/C2120
MEMS微振鏡
C1100/C1130/C2110/C2120
MEMS微振鏡是一款將可動(dòng)結(jié)構(gòu)芯片化的光學(xué)器件，可取代傳統(tǒng)電機(jī)，實(shí)現(xiàn)激光光束的高速、動(dòng)態(tài)掃描。MEMS微振鏡由單晶硅加工制成，具有可靠性高、體積小、重量輕、易批量化等特點(diǎn)。知微傳感提供的MEMS微振鏡鏡面尺寸為1mm-3mm，鏡面鍍金，對(duì)紅外光有較好的反射率，目前已廣泛應(yīng)用于激光雷達(dá)、機(jī)器視覺、激光打印等應(yīng)用場景。
基本特征
基本特征
知微傳感研制的MEMS微振鏡為靜電驅(qū)動(dòng)諧振式微振鏡，具有體積小、重量輕，功耗低，壽命長，成本低等特點(diǎn)。
體積小，重量輕
體積小，重量輕
功耗低
功耗低
壽命長，可靠性高
壽命長，可靠性高
易批量化，成本低
易批量化，成本低
應(yīng)用領(lǐng)域
機(jī)器視覺
激光雷達(dá)
激光投影
影像醫(yī)療
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品參數(shù)
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型號(hào) | C1100 | C1130 | C2110 | C2120 |
軸數(shù)
| 單軸 | 單軸 | 雙軸 | 雙軸 |
鏡面直徑 | 1.3mm | 3mm | 1mm | 1mm |
頻率 | 5.8kHz±10% | 1.15kHz±10% | 快軸：13kHz±10% 慢軸：1.2kHz±10% | 快軸：25kHz±10% 慢軸：2.3kHz±10% |
光學(xué)掃描角 | ±30° | ±30° | ±30° | ±30° |
鏡面鍍膜 | 金 | 金 | 金 | 金 |